UV-C的波长在200-275nm，UV-C253.7nm紫外线很易被生物体的DNA吸收，尤以253.7nm左右的紫外线最佳,有杀菌、消毒效能。（峰值在253.7nm）的UV-C能直接破坏细胞、病毒的DNA（脱氧核糖核酸）和RNA（核糖核酸），使微生物迅速死亡，短波紫外线对人体的伤害很大，短时间照射即可灼伤皮肤，长期或高强度照射还会造成皮肤癌。
UV-D185nm石英灯管，波长在100-200nm的能产生臭氧，而在空气中或溶解在水中的臭氧，能把微生物的细胞壁以氧化作用破坏，使微生物立刻死亡，臭氧（分子式O?）是氧的同素异形体，有强氧化性。在常温下，它是一种有特殊腥臭味的蓝色气体。臭氧杀菌灯就是利用灯管的185nm波长的紫外线辐射激发使双原子氧气分解形成臭氧的机理来产生臭氧的。185灯有四大功用：氧化、灭菌、脱色、除味。臭氧常用于水的消毒和空气的臭氧化，净化空气，漂白饮用水，杀菌消毒，迅速而消除空气中、水中的各种异味。在化学工业中用作强氧化剂，处理工业废物和作为漂白剂。在常温下可使许多有机色素脱色，很容易氧化有机不饱和化合物，漂白物体表面的脏污及染剂的颜色，杀菌及分解杂质。减少水源污染，不会有化学洗涤剂残留。此外，臭氧还可以氧化、分解水中的污染物，对除嗅味、脱色、杀菌、去除酚、氰、铁、锰和降低COD、BOD等都具有显著的效果。
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